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高頻發生器（radioffequency generator）又稱射頻發生器。電感耦合等離子體原子發射光譜/質譜等分析中用來產生等離子體炬的裝置。它產生的高頻電流輸給電感線圈，以激勵石英炬管（置于線圈中）內的氬氣，形成等離子體焰炬。分自激式和他激式（晶控型）振蕩器兩種類型。振蕩頻率在3～50MHz，常為27.12MHz和40.68MHz，輸出功率在0.7～7kW，常用為1.0～2.0kW。

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