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電子氣體：工業氣體中的明珠，電子工業的重要一環從行業劃分來看，電子特氣屬于工業氣體中的子類別，2021年國內工業氣體市場規模達到1798億元，工業氣體下分大宗氣體和特種氣體，其中大宗氣體市場規模達到1456億元（占比81%），一般濃度為5N以下，而特種氣體市場規模342億元（占比19%），濃度達到5N以上。

特種氣體中又劃分為標準氣體、高純氣體和電子特氣，其中電子特氣是利用氣體及化學原料經過分離、純化、混配等工藝制備而成，2021年國內市場規模達到216億元，下游應用于半導體、顯示面板、LED、光伏、光纖光纜等領域：其中專門應用于半導體領域的市場規模約為93億元（占比43%），應用于面板市場規模約為45億元（占比21%），用于LED市場規模約28億元（占比13%），用于光伏市場規模約13億元（占比6%）。電子特氣關乎電子工業中產品的品質，成為工業氣體中的明珠。

電子特氣市場規模及增速：全球45億美元，國內200億元人民幣市場規模，跟隨下游行業高速發展全球電子特氣市場規模從2016年的37億美元增長到2021年的45億美元，五年復合增速達到4.2%，Techcet預計到2025年，全球電子氣體規模將超過80億美元，其中電子特氣達到 60 億美元，CAGR 約為 7%。中國電子特氣市場規模從2016年的103億元增長到2021年的216億元，增速達到16%，隨著國內半導體、面板、光伏等投資和國產化加速，預計未來三年國內電子特氣市場規模CAGR 有望保持在 15%-20%。

半導體用電子特氣：為晶圓制造材料中第二大耗材，尚有提升空間全球來看，電子特氣下游最主要的領域是半導體，占比高達70%，而國內占比僅為43%，尚有提升空間。在半導體領域，電子特氣為晶圓制造材料中市場需求占比僅次于硅片的第二大耗材（占比13%），主要應用于晶圓制造的光刻、刻蝕、沉積、摻雜等核心工藝環節，使用步驟較多，因此消耗量也大于其他材料，在半導體生產環節中，使用的電子氣體有100多種，核心工段常用的氣體在40-50種左右。電子氣體的純度和潔凈度直接影響到半導體器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率。在半導體、面板、光伏、LED等領域中，電子特氣雖然用量遠低于電子大宗氣體，但成本卻占據50%左右，電子特氣的價格和毛利率較高。

行業格局：行業壁壘高，國際四大巨頭壟斷，加速推進國產化全球氣體行業被四大跨國巨頭壟斷，2018年林德（普萊克斯>、空氣化工、法液空、大陽日酸占據 91%的市場份額。國內電子特氣市場也被四大巨頭占據85%的份額，預計未來國內氣體企業份額有望提升。電子特氣行業壁壘高，一方面是技術壁壘，客戶對于氣體純度及精度要求較高：另一方面是客戶壁壘，電子特氣產品認證周期長，尤其是半導體領域，認證周期達 2-3 年，客戶粘性大。目前在半導體應用中，國內批量生產的電子特氣主要集中于光刻、刻蝕、清洗等環節，而在摻雜、沉積環節僅有少部分產品有所突破，總體國內企業在提純工藝、檢測技術、包裝處理、運輸服務等與國際龍頭差距較大。

投資建議：華特氣體：國內特種氣體國產化先行者，國內唯一一家同時通過荷蘭ASML和日本GIGAPHOTON認證的氣體公司，通過龍頭激光企業Coherent認證。金宏氣體：國內領先的大宗氣體及特種氣體供應商，超純氨國內龍頭。凱美特氣：國內二氧化碳龍頭，2018年開始發力布局高端電子特氣，已獲法液空、龍頭激光企業Coherent、世界領先準分子激光源提供商Cymer（ASML子公司）認證。

風險提示：電子特氣下游需求不及預期，技術突破不確定性，產能建設不及預期。

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轉自南京證券股份有限公司 研究員：顧詩園

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責任編輯：Rex_24